三氯氢硅（TCS）气相色谱分析进样的解决方案（色谱气体保护仪）

一、市场背景

     【光伏电池行业】三氯氢硅（TCS）又称三氯硅烷、硅氯仿，是卤硅烷系列化合物中最重要的一种产品，沸点为31.8℃、极易水解、冒白烟、有盐酸气味、有毒，三氯氢硅气体与氧气或空气的混合物极易燃烧，燃烧后会产生二氧化硅、氯化氢和氯气；极易挥发，在空气中发烟，遇水或水蒸气能产生热和有毒的腐蚀性烟雾。

      在空气中自燃：   2SiHCL3+2H2O+O2=6HCL+2SiO2（固体颗粒）

      电子级TCS：电子级TCS是纯度最高的三氯氢硅，通常用于制造高效率的光伏电池。它的杂质含量非常低，可以提供良好的电子传输性能；太阳级TCS：太阳级TCS也是用于制造光伏电池的材料，但其纯度要低于电子级TCS。太阳级TCS可以通过化学气相沉积（CVD）等工艺生产，用于大规模制造光伏电池；工业级TCS：工业级TCS是用于其他工业应用的TCS，不一定具备高纯度要求。工业级TCS通常用于制造硅橡胶、硅密封材料等。

二、市场现状

      样品氮封后放进自动液体进样器样品盘上，进样针在抽取样品时由于针内含有空气，进样针内的样品易发生自燃，破坏样品，分析结果不准确，同时生成的二氧化硅固体颗粒会堵塞进样针，需要不断更换新的进样针，分析成本大大增加。

三、解决方案：

产品名称：色谱气体保护仪

产品型号： P-5

惰性气体：小分子量惰性气体，优选氦气

四、方案优势：

1、双通道自由切换，充气通道，流量大，置换快，1min即可完成置换，补气通道，流量小，节省气；

2、可以通过色谱仪控制氦气气源的开关，进完样品可以自动关闭，运行下一个样品前自动打开氦气，节省氦气；

3、看得见的氧气，氧气浓度可以实时显示，低于安全值时再进样，确保不会自燃；

4、配备高精密度测氧仪，带存储功能，历史数据可以追踪；

5、采用扁平化设计，桌面占用少。

配备高精度测氧仪（带储存功能）

扩展：该方案同样适用于 双（二乙基氨基）硅烷(BDEAS)  的色谱分析